科技創(chuàng)新帶動(dòng)信息時(shí)代到來(lái)，半導(dǎo)體、電子信息等高科技產(chǎn)業(yè)迅速崛起，相關(guān)制造企業(yè)搭乘行業(yè)發(fā)展的“快車(chē)”，市場(chǎng)規(guī)模逐步擴(kuò)大。作為半導(dǎo)體產(chǎn)品制備過(guò)程中必不可少的工具，聚氨酯拋光墊在芯片制造、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用，市場(chǎng)需求呈現(xiàn)出穩(wěn)步增長(zhǎng)的趨勢(shì)。在5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興技術(shù)的激發(fā)下，半導(dǎo)體拋光墊相關(guān)技術(shù)的研發(fā)攻關(guān)再次掀起熱潮。

       前不久，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布2023年度專利復(fù)審無(wú)效十大案件，請(qǐng)求人王某某與專利權(quán)人羅門(mén)哈斯電子材料 CMP控股股份有限公司（下稱羅門(mén)哈斯公司）、陶氏環(huán)球技術(shù)有限公司（下稱陶氏公司）之間的專利權(quán)無(wú)效宣告請(qǐng)求案入選。該案中，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利局復(fù)審和無(wú)效審理部（下稱復(fù)審和無(wú)效審理部）作出無(wú)效宣告請(qǐng)求審查決定，維持羅門(mén)哈斯公司和陶氏公司的名稱為“聚氨酯拋光墊”（專利號(hào)：ZL201410448504.X，下稱涉案專利）發(fā)明專利權(quán)有效。涉案專利權(quán)人為相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域知名公司，加之該專利技術(shù)具有廣闊的市場(chǎng)應(yīng)用前景，因此，上述審查決定的作出引發(fā)了業(yè)界的廣泛關(guān)注。

       產(chǎn)品市場(chǎng)前景廣闊

       在芯片制造過(guò)程中，半導(dǎo)體硅片經(jīng)過(guò)刻蝕、離子注入等工藝過(guò)程，其表面會(huì)變得凹凸不平，并產(chǎn)生多余的表面物。為降低硅片表面的粗糙度和不平整度，去除表面多余物質(zhì)，有效進(jìn)行下一道加工程序，必須使用拋光墊對(duì)半導(dǎo)體硅片進(jìn)行拋光處理。不同于普通的拋光技術(shù)，對(duì)半導(dǎo)體硅片的拋光需要采用化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)（CMP），通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械磨削的結(jié)合對(duì)硅片表面進(jìn)行平坦化處理。隨著集成電路特征尺寸的減小，制備過(guò)程中由拋光所產(chǎn)生的缺陷進(jìn)一步放大，這也引起了相關(guān)研發(fā)團(tuán)隊(duì)的重視。

       涉案專利正是專利權(quán)人為了解決拋光墊材料所致硅片表面存在缺陷的研究成果。2014年9月4日，羅門(mén)哈斯公司和陶氏公司就涉案專利向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交了專利申請(qǐng)，后獲得授權(quán)。

       “從 CMP拋光全球市場(chǎng)來(lái)看，該行業(yè)長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)所壟斷，市場(chǎng)集中度較高。”江蘇瑞途律師事務(wù)所專利部總監(jiān)韋超峰在接受中國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)報(bào)記者采訪時(shí)介紹，與國(guó)外相比，我國(guó) CMP拋光行業(yè)起步較晚。但近年來(lái)，伴隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展以及相關(guān)政策的推動(dòng)，我國(guó) CMP拋光行業(yè)發(fā)展加快，接連涌現(xiàn)出了一批創(chuàng)新主體，如鼎龍股份、中芯國(guó)際等，這些企業(yè)紛紛加大研發(fā)力度、進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，積極同國(guó)外企業(yè)進(jìn)行市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。

       公正審理同等保護(hù)

       2023年4月20日，請(qǐng)求人王某某就涉案專利向復(fù)審和無(wú)效審理部提起專利權(quán)無(wú)效宣告請(qǐng)求。在受理該案后，復(fù)審和無(wú)效審理部隨即組建了由多名資深審查員組成的合議組對(duì)該案進(jìn)行審查，并于2023年8月2日舉行口頭審理。

       據(jù)了解，王某某提起專利權(quán)無(wú)效宣告請(qǐng)求的主要理由為涉案專利的權(quán)利要求不符合專利法第二十二條第三款。具言之，涉案專利的權(quán)利要求1與最接近的現(xiàn)有技術(shù)相比，區(qū)別僅在于固化劑的種類不同，權(quán)利要求中關(guān)于物理性能參數(shù)對(duì)權(quán)利要求的保護(hù)范圍無(wú)限定作用。在此基礎(chǔ)上，請(qǐng)求人還提交多份證據(jù)欲證明使用該類固化劑給出了技術(shù)教導(dǎo)，故涉案專利不具備創(chuàng)造性。

       對(duì)此，專利權(quán)人羅門(mén)哈斯公司和陶氏公司辯稱，涉案專利中的固化劑特征與其它配方組分特征為同一技術(shù)手段，在創(chuàng)造性判斷時(shí)應(yīng)作為一個(gè)整體考量，涉案專利正是因?yàn)榕浞浇M分的上述組合特征同時(shí)產(chǎn)生了性能改善的組合效果，而請(qǐng)求人提交的證據(jù)均未就此給出技術(shù)啟示的情況下，涉案專利具備創(chuàng)造性。

       該案主審員許艷在接受本報(bào)記者采訪時(shí)介紹，對(duì)于與化學(xué)、材料學(xué)科相融合的機(jī)械產(chǎn)品，由于其權(quán)利要求的表征不再局限于部件組成及具體結(jié)構(gòu)，方法制備特征和性能參數(shù)特征也融入其中，因此如何準(zhǔn)確理解這類產(chǎn)品權(quán)利要求是審查結(jié)論正確與否的前提和關(guān)鍵。

       “該案中，合議組站位本領(lǐng)域技術(shù)人員，基于說(shuō)明書(shū)的客觀記載，在對(duì)權(quán)利要求多個(gè)技術(shù)特征是否可視為同一技術(shù)手段以及性能參數(shù)特征對(duì)權(quán)利要求保護(hù)范圍的影響作出了認(rèn)定。雖然涉案專利聲稱其同時(shí)產(chǎn)生了多個(gè)技術(shù)效果，但是由于配方組分對(duì)產(chǎn)品的實(shí)際影響的預(yù)見(jiàn)性低，因此通常需要實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的支持。”許艷介紹，基于此，合議組認(rèn)為涉案專利相較于最接近的現(xiàn)有技術(shù)實(shí)際的技術(shù)貢獻(xiàn)在于采用特定的固化劑提高拋光墊的熱穩(wěn)定性和均一性，而現(xiàn)有技術(shù)均未就此給出技術(shù)啟示，涉案專利具備創(chuàng)造性。

       2023年12月20日，復(fù)審和無(wú)效審理部作出第564483號(hào)無(wú)效宣告請(qǐng)求審查決定，維持涉案專利權(quán)有效。

       合理認(rèn)定技術(shù)貢獻(xiàn)

       新技術(shù)新產(chǎn)業(yè)新業(yè)態(tài)的發(fā)展離不開(kāi)基礎(chǔ)材料的支撐，芯片作為核心部件，其重要性不言而喻。作為芯片研制生產(chǎn)必不可少的工具，聚氨酯拋光墊的市場(chǎng)前景十分廣闊。該無(wú)效宣告請(qǐng)求審查決定在鼓勵(lì)創(chuàng)新的同時(shí)，為專利權(quán)劃定了與其技術(shù)貢獻(xiàn)相匹配的保護(hù)范圍，引發(fā)業(yè)界深入思考。

       廈門(mén)市知識(shí)產(chǎn)權(quán)協(xié)會(huì)專家?guī)鞂＜摇B門(mén)納益維知專利代理事務(wù)所總經(jīng)理陳菊珍在接受本報(bào)記者采訪時(shí)表示，“參數(shù)限定”專利具有容易認(rèn)定侵權(quán)卻難以宣告無(wú)效的特性，因此包含參數(shù)特征成為了專利申請(qǐng)中一種典型的產(chǎn)品表征形式。該案對(duì)判斷參數(shù)特征對(duì)保護(hù)范圍的實(shí)際限定作用、是否在說(shuō)明書(shū)中充分公開(kāi)、如何在創(chuàng)造性評(píng)判中與其他特征作為整體一并考量等方面給出了指引。

       “該無(wú)效宣告請(qǐng)求審查決定的作出促使專利代理師反思在專利申請(qǐng)文件撰寫(xiě)過(guò)程中引入?yún)?shù)特征的必要性及與說(shuō)明書(shū)的關(guān)聯(lián)性。同時(shí)，引導(dǎo)被控侵權(quán)人知曉參數(shù)特征限定的產(chǎn)品權(quán)利要求的解釋規(guī)則，既充分尊重權(quán)利人的技術(shù)貢獻(xiàn)，又維護(hù)了社會(huì)公眾的利益。”陳菊珍表示。

       韋超峰建議，隨著材料科學(xué)和技術(shù)水平的不斷提高，新型聚氨酯耐磨墊的創(chuàng)新開(kāi)發(fā)及制備工藝的優(yōu)化將成為未來(lái)行業(yè)研究的熱點(diǎn)。對(duì)于具有較強(qiáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)意識(shí)的企業(yè)來(lái)說(shuō)，即便是針對(duì)一些微小的技術(shù)改進(jìn)，也會(huì)從新的性能參數(shù)角度進(jìn)行保護(hù)，這些性能參數(shù)往往是現(xiàn)有技術(shù)尚未公開(kāi)的。因此，相關(guān)從業(yè)者在研發(fā)過(guò)程中，要注重提升知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)意識(shí)，可以借鑒性能參數(shù)特征知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)模式，提升自身綜合競(jìng)爭(zhēng)力。

       【典型意義】

       不同于以宏觀結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)的傳統(tǒng)機(jī)械產(chǎn)品，該案的聚氨酯拋光墊屬于一種化學(xué)機(jī)械學(xué)科交叉的創(chuàng)新成果，此類產(chǎn)品的權(quán)利要求通常包括產(chǎn)品制備特征和性能參數(shù)特征的限定。在該案中，合議組根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)認(rèn)定，權(quán)利要求中的組分、含量與物理性能參數(shù)等多個(gè)特征不存在相互作用關(guān)系，無(wú)需整體考量。然而本專利解決了拋光墊的均一性及熱穩(wěn)定性的技術(shù)問(wèn)題，而現(xiàn)有技術(shù)均未就此給出相應(yīng)的技術(shù)啟示，因此具備創(chuàng)造性。該案審理遵循專利法“公開(kāi)換保護(hù)”的基本原則，在鼓勵(lì)創(chuàng)新的同時(shí)，為專利權(quán)劃定了與其技術(shù)貢獻(xiàn)相匹配的保護(hù)范圍。